Azotek krzemu

azotek krzemu
Ogólne informacje
Charakterystyka fizyczna
szary bezwonny proszek
Wzór chemiczny

Si3N4

• zapis Hilla

N4Si3

Masa molowa

140,28 g/mol

Identyfikacja
Numer CAS

12033-89-5

PubChem

3084099

Podobne związki
Podobne związki

ditlenek krzemu, węglik krzemu

Jeżeli nie podano inaczej, dane dotyczą
stanu standardowego (25 °C, 1000 hPa)

Azotek krzemu (Si3N4) – nieorganiczny związek chemiczny, azotek pierwiastka krzemu na IV stopniu utlenienia.

Właściwości

Azotek krzemu ma stosunkowo niską gęstość, bardzo dużą odporność termiczną i chemiczną oraz twardość.

Zastosowania

Elektronika

Azotek krzemu jest wykorzystywany jako izolator i bariera chemiczna – przewyższa on w tym zastosowaniu SiO2. Stanowi dobrą barierę dla czynników, przed którymi nie chroni SiO2, na przykład jonów Na+ i H+ (mających szkodliwy wpływ na stabilność przyrządów półprzewodnikowych). Niektóre aplikacje wykorzystują azotek krzemu jako warstwę pułapkowania ładunku do przechowywania elektronów[3].

Najczęściej wytwarza się warstwę Si3N4 metodami chemicznymi: przez rozpylanie katodowe lub osadzanie z fazy lotnej. Do wad należą: trudności związane z obróbką fotochemiczną tych warstw i gorsze właściwości elektrofizyczne obszaru granicznego −Si niż SiO2.

Ceramika

Łożyska z ceramiki Si3N4 są stosowane w dyskach twardych.

Azotek krzemu jest składnikiem sialonu.

Przypisy

  1. ↑ Silicon nitride (nr 334103) – karta charakterystyki produktu Sigma-Aldrich (Merck) na obszar Polski.
  2. ↑ Azotek krzemu [PDF], karta charakterystyki produktu Sigma-Aldrich, Merck, numer katalogowy: 334103.
  3. ↑ Karthik Sridhara, Łukasz Borowik, Denis Mariolle, Nicolas Chevalier, Jean-Philippe Colonna, Environment and baking influence on charge retention on silicon nitride charge trap layers, „Journal of Applied Physics”, 111 (2), 2012, DOI: 10.1063/1.3678455 (ang.).

Bibliografia

  • Wiesław Marciniak, Przyrządy półprzewodnikowe i układy scalone, Warszawa: WNT, 1987, s. 71, ISBN 83-204-0925-X, OCLC 749876743.